摘要：光波导是集成光学重要的基础性部件，它能将光波捆绑在光波长量级尺度的介质中，长距离无辐射的传输。平面波导型光器材，又称为光子集成器材。

　　光波导是集成光学重要的基础性部件，它能将光波捆绑在光波长量级尺度的介质中，长距离无辐射的传输。平面波导型光器材，又称为光子集成器材。其技能中心是选用集成光学工艺依据功用要求制成各种平面光波导，有的还要在必定的方位上堆积电极，然后光波导再与光纤或光纤阵列耦合，是多类光器材的研讨热门。

　　LiNbO3晶体是一种比较老练的资料，它有极好的压电、电光和波导性质。除了不能做光源和探测器外，合适制作光的各种操控、耦合和传输元件。铌酸锂镀钛光波导开发较早，其主要工艺进程是：首先在铌酸锂基体上用蒸腾堆积或溅射堆积的办法镀上钛膜，然后进行光刻，构成所需求的光波导图形，再进行分散，能够选用外分散、内分散、质子交流和离子注入等办法来完成。并堆积上二氧化硅保护层，制成平面光波导。该波导的损耗一般为0.2-0.5dB/cm。调制器和开关的驱动电压一般为10V左右；一般的调制器带宽为几个GHz，选用行波电极的LiNbO3光波导调制器，带宽已达50GHz以上。

　　硅基堆积二氧化硅光波导是20世纪90年代发展起来的新技能，主要有氮氧化硅和掺锗的硅资料，国外已比较老练。其制作工艺有：火焰水解法（FHD）、化学气相淀积法（CVD，日本NEC公司开发）、等离子增强CVD法（美国Lucent公司开发）、反响离子蚀刻技能RIE多孔硅氧化法和熔胶－凝胶法（Sol-gel）。该波导的损耗很小，约为0.02dB/cm。

　　聚合物光波导是近年来研讨的热门。该波导的热光系数和电光系数都比较大，很合适于研发高速光波导开关、AWG等。选用极化聚合物作为作业物质，其杰出长处是资料装备便利、本钱很低。一起因为有机聚合物具有与半导体相容的制备工艺而使得样品的制备十分简略。聚合物经过外场极化的办法能够获得高于铌酸锂等无机晶体的电光系数。德国HHI公司使用这种波导研发成功的AWG在25-65℃的波长漂移仅为0.05nm。简直任何资料都能够作为聚合物的衬底。本钱低价，发展前景看好。

　　此外，为了得到更好的光波导功能，许多研讨机构正在探究在新型资料上的波导制作办法。现在，有机无机混合纳米资料的平面光波导已研发成功，兼具有机与无机资料的长处，如功能安稳可*、加工简略、能依需求调控光学功能等。因为新资料具有感光特性，在制作工艺上以显影方法直接做出的导光线路，将能进一步应用以低本钱的简略工艺，更可大幅削减器材制作商的设备投入本钱。