广东:大力推进刻蚀机、键合机等光芯片要害配备研制和国产化代替
广东省人民政府办公厅印发《广东省加速推进光芯片工业立异展开举动计划(2024—2030年)》。其间提出,加速展开光芯片要害资料研制攻关。全力支撑硅光资料、化合物半导体、薄膜铌酸锂、氧化镓薄膜、电光聚合物、柔性基底资料、超外表资料、光学传感资料、电光拓扑相变资料、光刻胶、石英晶体等光芯片要害资料研制制作。
推进光芯片要害配备研制制作。大力推进刻蚀机、键合机、外延成长设备及光矢量参数网络测试仪等光芯片要害配备研制和国产化代替。执行工业设备更新改造方针,加速光芯片要害设备更新晋级。
支撑光芯片相关部件和工艺的研制及优化。全力支撑收发模块、调制器、可重构光神经网络推理器、PLC分路器、AWG光栅等光器材及光模块核心部件的研制和工业化。支撑硅光集成、异质集成、磊晶成长和外延工艺、制作工艺等光芯片相关制作工艺研制和继续优化。(广东省人民政府网站)