、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、热敏传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、振荡传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。
模仿传感器将被丈量的非电学量转化成模仿电信号。
数字传感器将被丈量的非电学量转化成数字输出信号(包含直接和直接转化)。
膺数字传感器将被丈量的信号量转化成频率信号或短周期信号的输出(包含直接或直接转化)。
开关传感器当一个被丈量的信号到达某个特定的阈值时,传感器相应地输出一个设定的低电平或高电平信号。
在外界要素的效果下,一切资料都会作出相应的、具有特征性的反响。它们中的那些对外界效果最灵敏的资料,即那些具有功用特性的资料,被用来制作传感器的灵敏元件。从所运用的资料观念动身可将传感器分红下列几类:
集成传感器是用规范的出产硅基半导体集成电路的工艺技术制作的。一般还将用于开始处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。
薄膜传感器则是经过沉积在介质衬底(基板)上的,相应灵敏资料的薄膜构成的。运用混合工艺时,相同可将部分电路制作在此基板上。
厚膜传感器是使用相应资料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片一般是Al2O3制成的,接着进行热处理,使厚膜成形。
补白:完结恰当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多一起特性,在某些方面,能够以为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。
每种工艺技术都有自已的长处和缺乏。因为研讨、开发和出产所需的本钱投入较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,选用陶瓷和厚膜传感器是合理的。