5月26日，韩国新闻媒体报道，因窃取超临界清理洗涤设施技术，三星电子子公司科技泄密者被起诉。

　　韩国法院25日宣布，三星电子旗下子公司SEMES前员工A某等7人，涉嫌将半导体洗净装备技术泄露给中企，被检方移交法院。

　　据韩国《》26日的报道，韩国水原地方法院军工产业、产业技术犯罪刑事法庭25日宣布，以涉嫌违反《防止不正当竞争法》《商业机密保护法》《产业技术保护法》等法律，将三星电子子公司SEMES前员工A某等7人提起拘留起诉。

　　报道称，A某以研究员身份在SEMES公司任职超过10年，2018年3月至2021年12月，他盗取SEMES公司技术后，制成14台相同配置的半导体清理洗涤设施，与有关技术一同出售给中国企业及研究机构，从中获取710亿韩元（约合人民币3.76亿元）的报酬。

　　韩国《亚洲经济》报道称，A某从SEMES公司辞职时，未根据相关要求交还有关信息，从合作客户代表处盗取设计图纸、零件清单、药业管道信息、操作标准、软件等几乎全部技术。A某等人以曾在SEMES任职的履历招募投资方，接受中企的投资后在忠清南道天安市成立工厂后制造设备。

　　A某团伙盗取的半导体清理洗涤设施是SEMES专利技术制作而成的主力产品，在芯片制程最初阶段用于清除污物。该设备可用来清洗包括硫酸在内的高温液体，并将传送机器人的手臂从2只增至4只，大幅度的提升了清洗速度。

　　SEMES公司为研究开发这一技术投资2188亿韩元，技术泄露或导致该公司每年遭受400亿韩元以上的经济损失。

　　A某及团伙以曾在SEMES任职的履历为招募投资方，接受中国企业的投资后在天安成立工厂后制造设备。并同中方企业成立合资法人，转移相关技术，以此为交易条件获得20％的股份。在国家情报院产业机密保护中心收到举报启动调查后，涉案团伙曾毁灭保存于硬盘及手机中的相关证据。

　　另据韩国KBS电视台26日的报道，从A某等人获取半导体设备技术的就包括中国“国营半导体研究机构”ICRD，即上海集成电路研发中心有限公司。

　　据了解，SEMES是三星电子旗下的一家半导体设备供应商（三星拥有90％以上的Semes的股份），同时也是韩国最大的半导体设备制造商。

　　数据显示，Semes在2021年全年的收入为3．12万亿韩元（约人民币162亿元），盈利为3533亿韩元。这是该公司迄今为止最好的年度业绩。与2020年相比，收入和盈利也分别增长了41％和24％。其中，晶圆厂设备占Semes的2021年收入的75％，而平板显示设备占比1.7％。2020年，晶圆厂设备占其年收入的61．24％，而平板显示设备占比9.9％。

　　根据Gartner的多个方面数据显示，在2019年的全球半导体清理洗涤设施市场，日本迪恩士（DNS）、日本东京电子（TEL）、韩国SEMES和美国泛林集团（Lam research）分别占据了45．10％、25．30％、14．80％和12．50％的市场。

　　《环球时报》记者26日多次拨打公司官网显示的联系方式，但始终无人接听。据官网介绍，上海集成电路研发中心有限公司成立于2002年，是产学研合作的国家级集成电路研发中心。韩国KBS电视台报道称，有专家觉得，该研发中心是引领中国半导体崛起的核心机构。

　　当地时间2022年5月20日，韩国平泽市，美国总统拜登同韩国总统尹锡悦访问京畿道平泽的三星电子半导体工厂。

　　上海集成电路研发中心有限公司成立于2002年，是产学研合作的国家级集成电路研发中心。

　　韩国KBS电视台报道称，有专家觉得，该研发中心是引领中国半导体崛起的核心机构。

　　ICRD由中国集成电路相关企业集团和高校联合投资组建而成，是一个独立的面向全行业集成电路企业、大学及研究所开放的公共研发机构。

　　ICRD的基本功能包括：为集成电路企业和研发单位提供先进器件及工艺技术的前期研发和产品级验证；为集成电路装备和材料提供研制到上线的验证和工艺配套；为集成电路生产线升级提供知识产权和技术转移；为设计企业研制芯片提供特色工艺和共享IP核服务；为企业及高校提供培养集成电路专业方面技术人才和高技能人才的实训基地。

　　上海集成电路研发中心位于上海市张江高科技园区，地理位置毗邻华力微电子和中芯国际。ICRD建有中国最先进的12英寸开放式集成电路先进工艺研发和装备材料试验平台，净化面积超过3000平方米，研发环境及管理系统和大生产线完全匹配，可实现硅片无沾污进出和工艺流程无缝衔接，加快了研发技术和验证速度。ICRD拥有浸没式193nm光刻机、硅刻蚀机、原子层薄膜生长（ALD）、高能离子注入机以及全套铜互连和Low-K等先进工艺设备，工艺研发能力可达14纳米以下。

　　ICRD掌握了多个技术代的工艺技术和知识产权；通过设立产业界共性研发技术项目，进行FinFET器件及工艺、5nm以下纳米线晶体管等新器件和工艺技术的联合研发；开展产学研合作，研发晶体管级3D堆叠、量子点传感器等前沿技术和产品。与此同时，ICRD通过逐渐完备设备设施条件，加强国际合作，建成了中国条件最好的集成电路人才实训基地，并对全行业和高校开放。

　　上海集成电路研发中心ICRD与ASML、IMEC、ASML-Brion、Synopsys、应用材料、泛林等跨国公司有广泛的合作。

　　查询可知上海集成电路研发中心股东非常豪华，基本中国前几大设备厂商都与之关联。

　　上海国盛、北方华创、沪硅产业、张江孵化器、华虹集团、南大光电、至纯科技、上海微电子。

　　芯榜整理了2022全球十大半导体设备商营收数据。数据来源各上市公司数据。

　　据芯榜数据查询 ，韩国SEMES大概排名在全球半导体设备前15位。加之三星做为背后股东支撑，韩国又成为美国重要的半导体扶持对象，投资扩产潮下，最先受益暨韩国半导体设备。

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